国产偷窥熟女精品视频大全,精品人妻一区二区三区浪潮在线,张柏芝跪下吃j8图片,yy111111少妇无码理论片

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)

接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)

更新時(shí)間:2024-09-09  |  點(diǎn)擊率:1031
  大家也許還不是非常的清楚,光刻機(jī)的種類有非常的多,其中的技術(shù)原理也不盡相同,下面就由我來給大家簡(jiǎn)單介紹一下有關(guān)接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)。
 
  接近式光刻機(jī)的使用原理:
  其實(shí)在我國(guó)對(duì)于接近式光刻機(jī),曝光時(shí)掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點(diǎn)是可以使用價(jià)格較低的設(shè)備制造出較小的特征尺寸。
  我們也許不知道接觸式光刻和深亞微米光源已經(jīng)達(dá)到了小于0.1gm的特征尺寸,常用的光源分辨率為0.5gm左右。該光刻機(jī)的掩模版包括了要復(fù)制到襯底上的所有芯片陣列圖形。在襯底上涂上光刻膠,并被安裝到一個(gè)由手動(dòng)控制的臺(tái)子上,臺(tái)子可以進(jìn)行X、y方向及旋轉(zhuǎn)的定位控制。
  在操作過程中掩模版和襯底晶片需要通過分立視場(chǎng)的顯微鏡同時(shí)觀察,這樣操作者用手動(dòng)控制定位臺(tái)子就能把掩模版圖形和襯底晶片上的圖形對(duì)準(zhǔn)了。經(jīng)過紫外光曝光,光線通過掩模版透明的部分,圖形就轉(zhuǎn)移到了光刻膠上。該光刻機(jī)的主要缺點(diǎn)是依賴于人操作,由于涂覆光刻膠的圓片與掩模的接觸會(huì)產(chǎn)生缺陷,每一次接觸過程,會(huì)在圓片和掩模上都造成一定的缺陷。因此,設(shè)備一般用于能容忍較高缺陷水平的器件研究和其他應(yīng)用方面。
 
  接近式光刻機(jī)的外觀圖片:
 

 

  接近式光刻機(jī)的性能指標(biāo):
  設(shè)備的主要性能指標(biāo)有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對(duì)準(zhǔn)精度、曝光方式、光源波長(zhǎng)、光強(qiáng)均勻性、生產(chǎn)效率等。
  1.分辨率是對(duì)光刻工藝加工可以達(dá)到的最細(xì)線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
  2.對(duì)準(zhǔn)精度是在多層曝光時(shí)層間圖案的定位精度。
  3.曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
  4.曝光光源波長(zhǎng)分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準(zhǔn)分子激光器等。
亲胸揉屁股膜下刺激视频| 小雪被老外黑人撑破了视频| japanesefreel体内精日本| 不断作死后我成了白月光| av无码精品久久久久精品免费| 精品香蕉一区二区三区| 14表妺好紧没带套经过| 上流社会韩国电影| 被夫上司欺辱的人妻hd中文版| 日韩精品无码一区| 帅小伙自慰videogay男男| 门卫老头吸允校花奶头| 最近中文字幕视频2019一页| 女人18毛片a级毛片免费视频| 国产成人免费爽爽爽视频| 国产天美传媒一起又看流星雨| 国产精品乱码人妻一区二区三区| 精品亚洲AV无码一区二区| 无码欧美人xxxxx日本漫画| 波多野结av衣东京热无码专区| 肉欲娇宠(h)皇帝篇31| 日本黄色视频| 国产最猛性xxxx69交| 人妻少妇精品无码专区二区| 女人被狂躁到高潮呻吟小说| 亚洲精品无码一区二区| 強姦亂倫中文字幕在線觀看| 国产传媒18精品免费观看| 日韩精品视频| 无码人妻精品一区二区蜜桃网站| 日本少妇bbw丰满做爰图片| 特黄特色大片免费播放器图片| 国产精品成人一区二区三区| 国产午夜成人免费看片无遮挡| 丰满大肥婆肥奶大屁股| 色婷婷av视频一二三区小说| 中字幕视频在线永久在线观看免费| 久久99精品久久久久久无毒不卡| 人妻互换亂倫激情| 2022最新韩国理伦片在线观看| aaaaa级少妇高潮大片免费看|